氣(qi)體(ti)稀(xi)釋(shi)配氣(qi)儀(yi)的(de)微(wei)流量處理(li)能力是(shi)壹(yi)個(ge)關鍵性(xing)能指標(biao),它決定(ding)了(le)儀(yi)器在精(jing)確控(kong)制(zhi)和(he)處理(li)微(wei)小(xiao)氣(qi)體(ti)流量方面(mian)的能力。以(yi)下(xia)是(shi)對(dui)
氣(qi)體(ti)稀(xi)釋(shi)配氣(qi)儀(yi)微(wei)流量處理(li)能力的(de)詳細分析:
壹(yi)、微(wei)流量處理(li)能力的(de)定(ding)義(yi)
微流量處理(li)能力通(tong)常指的是氣(qi)體(ti)稀(xi)釋(shi)配氣(qi)儀(yi)能夠(gou)準確、穩(wen)定(ding)地(di)控(kong)制(zhi)和(he)輸出(chu)微(wei)小(xiao)氣(qi)體(ti)流量的能力。這(zhe)包括儀(yi)器在低(di)流量範圍內(nei)的(de)精(jing)度、穩(wen)定(ding)性(xing)和(he)重復性(xing)等方面(mian)。
二、影(ying)響(xiang)微流量處理(li)能力的(de)因(yin)素(su)
1.質(zhi)量流量控制(zhi)器(MFC):MFC是氣(qi)體(ti)稀(xi)釋(shi)配氣(qi)儀(yi)中的核(he)心(xin)部(bu)件,負責(ze)精(jing)確控(kong)制(zhi)氣(qi)體(ti)的(de)流量。MFC的精(jing)度和(he)穩定(ding)性(xing)直(zhi)接影響(xiang)配氣(qi)儀(yi)的(de)微(wei)流量處理(li)能力。
2.氣(qi)路設(she)計(ji)和(he)材料(liao):氣(qi)路的(de)設(she)計(ji)和(he)材料(liao)選(xuan)擇(ze)對(dui)微流量處理(li)能力也(ye)有(you)重要(yao)影(ying)響(xiang)。采用防吸附、防腐蝕的(de)材料(liao),如聚四氟乙烯(xi)管(guan)路和(he)鈍(dun)化(hua)316L不(bu)銹(xiu)鋼(gang)接(jie)頭(tou),可以減(jian)少氣(qi)體(ti)在氣(qi)路中的損(sun)失和(he)汙(wu)染,提(ti)高微流量處理(li)的(de)準確性(xing)。
3.控制(zhi)系(xi)統(tong)和(he)軟(ruan)件:先進(jin)的(de)控制系(xi)統(tong)和(he)軟(ruan)件可以實(shi)現(xian)對MFC的精(jing)確控(kong)制(zhi),提高微流量處理(li)的(de)精(jing)度和(he)穩定(ding)性(xing)。例如,采用嵌(qian)入式(shi)高速微處理(li)器控制(zhi)和(he)觸摸(mo)屏顯示,可以方便(bian)地設(she)置(zhi)和(he)監控(kong)氣(qi)體(ti)流量。

三、不(bu)同(tong)型(xing)號(hao)氣(qi)體(ti)稀(xi)釋(shi)配氣(qi)儀(yi)的(de)微(wei)流量處理(li)能力
不(bu)同(tong)型(xing)號(hao)的(de)氣(qi)體(ti)稀(xi)釋(shi)配氣(qi)儀(yi)在微(wei)流量處理(li)能力方面(mian)存在差(cha)異(yi)。以(yi)下(xia)是壹(yi)些(xie)具(ju)體(ti)型(xing)號(hao)的(de)配氣(qi)儀(yi)在微(wei)流量處理(li)方面(mian)的表(biao)現:
1.GR-7050型(xing)智能動(dong)態(tai)氣(qi)體(ti)配氣(qi)儀(yi):該(gai)儀(yi)器具(ju)有(you)較(jiao)寬(kuan)的(de)流量控制(zhi)範圍,可根據(ju)用(yong)戶需求定(ding)制(zhi)不(bu)同(tong)的(de)輸出(chu)流量。其內部(bu)采用高精(jing)度、耐(nai)腐(fu)蝕的(de)質(zhi)量流量控制(zhi)器,可以實(shi)現(xian)對微小(xiao)流量的精(jing)確控(kong)制(zhi)。
2.M191802-CRJ-II型配氣(qi)儀(yi):該(gai)儀(yi)器配氣(qi)比(bi)可在0-範圍內(nei)連(lian)續(xu)可調(tiao),輸出(chu)流量為700ml/min(可配流量計控(kong)制(zhi)在500ml/min)。這(zhe)表(biao)明該(gai)儀(yi)器在微(wei)流量處理(li)方面(mian)具(ju)有(you)壹(yi)定(ding)的(de)能力。
3.APK6100標(biao)準(zhun)氣(qi)體(ti)稀(xi)釋(shi)儀(yi):該(gai)儀(yi)器采用MFC控(kong)制流量,可實現(xian)大稀(xi)釋(shi)比(bi)和(he)高精(jing)度流量控制(zhi)。其輸出(chu)流量穩定(ding),且(qie)在50-20ml/min範圍內(nei),適(shi)用於多種(zhong)氣(qi)體(ti)的(de)稀(xi)釋(shi)和(he)校準(zhun)需求。
四、結(jie)論(lun)
氣(qi)體(ti)稀(xi)釋(shi)配氣(qi)儀(yi)的(de)微(wei)流量處理(li)能力受到(dao)MFC、氣(qi)路設(she)計(ji)和(he)材料(liao)、控(kong)制(zhi)系(xi)統(tong)和(he)軟(ruan)件等多種(zhong)因(yin)素的(de)影響(xiang)。不(bu)同(tong)型(xing)號(hao)的(de)配氣(qi)儀(yi)在微(wei)流量處理(li)能力方面(mian)存在差(cha)異(yi),但大多數(shu)現(xian)代配氣(qi)儀(yi)都具(ju)備(bei)在微(wei)小(xiao)流量範圍內(nei)進(jin)行(xing)精(jing)確控(kong)制(zhi)和(he)輸出(chu)的(de)能力。在選(xuan)擇(ze)配氣(qi)儀(yi)時,應根(gen)據(ju)具(ju)體(ti)的(de)應(ying)用需求和(he)精(jing)度要(yao)求來(lai)選(xuan)擇(ze)合(he)適的型號(hao)和(he)配置(zhi)。